Για παράδειγμα, όταν υπάρχουν σωματίδια ρύπανσης κάτω από το μικρόν στην επιφάνεια του τεμαχίου εργασίας, αυτά τα σωματίδια τείνουν να κολλάνε πολύ σφιχτά. Οι συμβατικές μέθοδοι καθαρισμού δεν μπορούν να τις αφαιρέσουν. Ωστόσο, είναι πολύ αποτελεσματικό να καθαρίζετε την επιφάνεια του τεμαχίου με ακτινοβολία νανο λέιζερ. Επίσης, επειδή το λέιζερ καθαρίζει το τεμάχιο εργασίας χωρίς επαφή, είναι πολύ ασφαλές να καθαρίζετε το τεμάχιο εργασίας ακριβείας ή τα λεπτά μέρη του και μπορεί να διασφαλιστεί η ακρίβειά του. Επομένως, ο καθαρισμός με λέιζερ έχει μοναδικά πλεονεκτήματα στη βιομηχανία καθαρισμού.
Γιατί μπορεί να χρησιμοποιηθεί λέιζερ για καθαρισμό; Γιατί δεν προκαλεί ζημιά στο αντικείμενο που καθαρίζεται; Κατανοήστε πρώτα τη φύση του λέιζερ. Για να το πούμε απλά, τα λέιζερ δεν διαφέρουν από το σκιώδες φως (ορατό φως και αόρατο φως) γύρω μας, εκτός από το ότι το λέιζερ χρησιμοποιεί μια συντονισμένη κοιλότητα για να συγκεντρώσει το φως προς την ίδια κατεύθυνση και έχει απλούστερο μήκος κύματος, συντονισμό κ.λπ. η απόδοση είναι καλύτερη, οπότε θεωρητικά όλα τα μήκη κύματος φωτός μπορούν να χρησιμοποιηθούν για τη δημιουργία λέιζερ, αλλά στην πραγματικότητα, περιορίζεται από το γεγονός ότι δεν υπάρχουν πολλά μέσα που μπορούν να διεγερθούν, έτσι οι πηγές φωτός λέιζερ που μπορούν να παράγουν σταθερές και κατάλληλες για τη βιομηχανική παραγωγή είναι αρκετά περιορισμένες. Τα πιο ευρέως χρησιμοποιούμενα είναι πιθανώς τα λέιζερ Nd: YAG, λέιζερ διοξειδίου του άνθρακα και λέιζερ excimer. Δεδομένου ότι το λέιζερ Nd: YAG μπορεί να μεταδοθεί μέσω οπτικών ινών και είναι πιο κατάλληλο για βιομηχανικές εφαρμογές, χρησιμοποιείται επίσης στον καθαρισμό με λέιζερ.
Ακαδημαϊκά: Η αφαίρεση με λέιζερ (η επιστημονική ονομασία του καθαρισμού με λέιζερ) ή η φωτοαπόλυση είναι η διαδικασία αφαίρεσης υλικού από μια στερεή (ή μερικές φορές υγρή) επιφάνεια ακτινοβολώντας το με μια δέσμη λέιζερ. Σε χαμηλή ροή λέιζερ, το υλικό θερμαίνεται από την απορροφούμενη ενέργεια λέιζερ και εξατμίζεται ή εξαχνώνεται. Υπό υψηλή ροή λέιζερ, το υλικό συνήθως μετατρέπεται σε πλάσμα. Γενικά, η αφαίρεση λέιζερ αναφέρεται στην αφαίρεση υλικού με παλμικό λέιζερ, αλλά εάν η ένταση του λέιζερ είναι αρκετά υψηλή, μπορεί να χρησιμοποιηθεί μια ακτίνα λέιζερ συνεχούς κύματος για την αφαίρεση του υλικού. Τα φωτοβολταϊκά λέιζερ με βαθύ υπεριώδες φως χρησιμοποιούνται κυρίως. Το μήκος κύματος του λέιζερ που χρησιμοποιείται για φωτοαπόλυση είναι περίπου 200 nm. Το βάθος απορρόφησης ενέργειας λέιζερ και η ποσότητα υλικού που αφαιρείται από έναν παλμό λέιζερ εξαρτάται από τις οπτικές ιδιότητες του υλικού και το μήκος κύματος και το μήκος παλμού του λέιζερ. Η συνολική μάζα κάθε παλμού λέιζερ που έχει αφαιρεθεί από τον στόχο αναφέρεται συχνά ως ρυθμός αφαίρεσης. Τα χαρακτηριστικά ακτινοβολίας λέιζερ όπως η ταχύτητα σάρωσης των ακτίνων λέιζερ και η κάλυψη της γραμμής σάρωσης θα επηρεάσουν σημαντικά τη διαδικασία της αφαίρεσης.
